[发明专利]具有多个绕组线圈的感应等离子处理器和控制等离子浓度的方法

摘要

感应的等离子处理器包括多个绕组射频线圈，该线圈有多个电并联、空间上同轴的绕组(1)有不同数量的射频电源供应给它们，和(2)排列以产生电磁场，该电磁场对室中等离子不同区域有不同的耦合，以控制投射到已处理工件上的等离子流分布。线圈由单独的射频发生器经单独的匹配网络供给能源。每个绕组的输入和输出端分别连接到输入和输出调谐电容量。在第一实现例中，把射频耦合到等离子体的最大感应位置和每个绕组中的电流幅度分别主要由输出和输入电容的值确定。通过同时调整所有输入和输出电容，一个绕组中的电流可以改变而其它绕组中的电流可以保持恒定，好象这些绕组是完全去耦和独立的。所以，这些电容可以控制不同径向和角向区域的等离子浓度。在另一实现例中，相对低的频率驱动该线圈，因此，每个绕组有相对短的电长度，产生基本上是小的驻波电流和电压改变。每个绕组的输出电容调整电流幅度，来消除对输入电容的需要，并降低操作的复杂性。

主权项

1.一种控制电磁场分布的方法，该电磁场是激励线圈为激励用以处理一工件真空等离子处理器中的等离子体而产生的，该线圈包括多个并联绕组，用来将电磁场耦合到室中的等离子体，其特征在于，该方法包括控制(a)施加到多个绕组的功率的总量，这样对不同的电磁场分布，有不同数量的总功率施加到多个绕组，和(b)施加到个别的多个绕组的电流的数量，这样对不同的电磁场分布，将不同数量的电流加到个别的绕组；