[发明专利]微机电可调谐垂直腔光电器件及其制造方法无效
| 申请号： | 02810125.1 | 申请日： | 2002-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN1509406A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | E·卡彭;V·伊亚科夫勒夫;A·西尔布;A·鲁德拉;G·叙鲁切努 | 申请（专利权）人： | 洛桑生态综合技术联合公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;黄力行 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可调谐Farby－Perot垂直腔光电器件及其制造方法。该器件包括顶部和底部半导体DBR叠层及处在它们之间的可调谐空气隙腔。该空气隙腔形成于底部DBR叠层上方的一个隔片的凹口内。顶部DBR叠层由一个支撑结构支持在位于凹口中心区域上方的支撑结构区域内，而在凹口上方和DBR叠层之外的支持结构区域呈现为一个膜片，它可以通过施加在器件接触件上的调谐电压而偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 调谐 垂直 光电 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可调谐法布里-珀罗垂直腔器件，包括由可调谐空气隙腔体分隔的顶部和底部半导体分布式布拉格反射器(DBR)叠层，以及支持顶部DBR叠层的支撑结构，其中空气隙腔体处于完全被支撑结构盖住的在隔片内形成的一凹口中，顶部DBR叠层以通过所述凹口中心的垂直轴线为中心且其横向尺寸小于凹口的横向尺寸，在顶部DBR叠层之外和凹口上方的一支撑结构区域，它呈现为一膜片，可以通过施加在器件电接触件上的调谐电压而偏转。
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