[发明专利]带凹槽的溅射靶有效
| 申请号： | 02810802.7 | 申请日： | 2002-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1527887A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | T·J·亨特;H·J·克尼斯曼;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯S.T.技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K28/00;B23K33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;章社杲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 此方法制造了溅射靶组件(30)。其首先包括制造靶芯(10)的步骤。靶芯(10)具有屈服强度、直径、高度、平坦的顶面和圆锥状的底面(12)。接着制造背板(20)。背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22)。圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度，其屈服强度也小于靶芯(10)的屈服强度。最后，将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22)，以将靶芯(10)结合到背板(20)上，从而形成靶组件(30)。压制的靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 凹槽 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种制造溅射靶组件(30)的方法，其包括以下步骤：a)制造一靶芯(10)，其具有屈服强度、直径、高度、平坦的顶面和圆锥状的底面(12)；b)制造一个背板(20)，背板(20)具有与靶芯(10)直径一致的圆柱形凹槽(22)，圆柱形凹槽(22)的深度小于靶芯(10)的高度，其屈服强度小于靶芯(10)的屈服强度；和c)将靶芯(10)压入背板(20)的圆柱形凹槽(22)，以将靶芯(10)结合到背板(20)上，从而形成靶组件(30)，靶组件(30)包括带有圆锥形底面(12)的靶芯(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普莱克斯S.T.技术有限公司，未经普莱克斯S.T.技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02810802.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制备金属铁的方法
- 下一篇：无电电镀溶液及半导体器件
- 同类专利
- 专利分类
