[发明专利]用于微沉积控制的波形发生器有效
| 申请号： | 02811120.6 | 申请日： | 2002-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1512917A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 查尔斯·O·爱德华兹;戴维·艾博尔塔利;詹姆斯·米德莱登;乔治·法玲汉姆 | 申请（专利权）人： | 利特斯公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微沉积系统(20)和方法包括带有多个喷嘴(230)的一个喷头。一个控制器(22)产生选择性地发射喷嘴以产生一个希望特征图案的喷嘴发射命令。配置存储器存储定义用于喷嘴每一个的一个电压波形(280)的电压波形参数。一个数模转换器(DAC)定序器与配置存储器和控制器通信，并且当从控制器(22)接收用于第一喷嘴的一个喷嘴发射命令时，输出用于第一喷嘴的一个第一电压波形。一个电阻性阶梯信号DAC从DAC定序器接收电压波形。一个运算放大器(opamp)与电阻性阶梯信号DAC通信，并且放大电压波形。当从opamp接收的电压波形超过喷嘴(230)的一个发射阈值时，喷嘴发射液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 控制 波形 发生器 | ||
【主权项】：
1.一种把流体材料的液滴沉积在一个基片上的微沉积系统，包括：一个喷嘴，包括一根公用线和一根字模线；和一个波形发生器，与所述公用线和所述字模线通信，并且产生使所述喷嘴发射所述液滴的一个可调节电压波形。
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