[发明专利]可互换的微型沉积头装置和方法

摘要

一种符合本发明的微量沉积装置(10)和方法包括用于向基片沉积流体制造材料而形成一种结构的可以互换的微量沉积头(16)。装置(10)包括被安装在头支座上且被保持在基片上方的多个微量沉积头中的至少一个微量沉积头，基片被安装在平台(12)上，并受控地与微量沉积头(16)对正。在从微量沉积头排出流体制造材料的同时，控制系统协调平台和微量沉积头(16)的相对运动。安装托架和计算机系统确保不同的微量沉积头(16)可互换使用在微量沉积装置(10)中。

主权项

1一种用于在基片上沉积流体制造材料的微量沉积装置，该装置包括：用于固定地接收基片的平台；可拆卸地安装多个微量沉积头的停靠装置；微量沉积工具，包括头支座和喷嘴组件，所述头支座在所述平台上方安装所述多个微量沉积头中的一个，所述喷嘴组件用于从中向基片排出流体制造材料小滴；控制系统，协调所述微量沉积工具和所述平台中至少一个相对于另一个的运动，并与所述微量沉积头连接，控制从所述喷嘴组件向基片沉积流体制造材料的小滴。