[发明专利]多端口研磨流体传送系统

摘要

本发明提供一种用来传送一研磨流体至一化学机械研磨表面的方法及系统。在一实施例中，该系统包括：一臂，其具有一被设置在该研磨表面的至少一部分之上的运送部分；一第一喷嘴及一第二喷嘴，设置在该臂的运送部分上。该第一喷嘴被设计成可让该研磨流体以一第一流率流动，而该第二喷嘴被设计成可让该研磨流体以一不同于第一流率的第二流率流动。一种用来传送一研磨流体至一化学机械研磨表面的方法包括：以一第一流率供应研磨流体至一半导体研磨表面的一位置处，及以一不同于该第一流率的第二流率提供该研磨流体至该研磨表面的一第二位置等步骤。

主权项

1.一种将研磨流体传送至一化学机械研磨表面的系统，其至少包含：一臂，其具有一输送部分是至少部分地设置在该研磨表面上方；一第一喷嘴，其被设置在该输送部分上且被设计成可在一第一流率下流通该研磨流体；及至少一第二喷嘴其被设置在该输送部分上且被设计成可在一不同于该第一流率的第二流率下流通该研磨流体。