[发明专利]用于等离子室的悬挂式分气歧管有效
| 申请号： | 02817702.9 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1608305A | 公开（公告）日： | 2005-04-20 |
| 发明（设计）人： | 厄恩斯特·凯勒;权原·尚 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵淑萍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于等离子室的进气歧管，具有带孔的分气板，该分气板由包括一个或多个片的侧壁悬挂。所述片优选地提供弹性，以减小分气板中由于热膨胀与收缩而产生的应力。另一方面，侧壁提供了分气板与室的其他部件之间的隔热。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 悬挂 式分气 歧管 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子室的进气歧管，包括：被进气孔穿过的顶壁；被多个排气孔穿过的分气板，其中所述分气板与所述顶壁间隔开；以及包括一个或多个段的侧壁，其中每个侧壁段包括在上凸缘与下凸缘之间伸展的竖直定向的片；其中每个侧壁段的所述上凸缘安装到所述进气歧管的所述顶壁；其中每个侧壁段的所述下凸缘安装到所述分气板；并且其中所述侧壁包围所述进气歧管内、在所述顶壁与所述分气板之间伸展的区域，使得所述进气孔和所述排气孔与所述区域处于流体连通。
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