[发明专利]具有状态和模型参数估计的半导体批次控制系统无效
| 申请号： | 02823393.X | 申请日： | 2002-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1592873A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 基思·A.·爱德华兹;周建平(音译);詹姆斯·A.·穆林斯 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯－普里自动控制公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;G06F19/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种批次(R2R)控制系统的方法包括使用过程输入处理材料并且产生过程输出，将过程输入存储在数据库中，该存储包括使用时间标记，以及将过程输出的至少一个测量使用时间标记与每个过程输入对齐地存储在数据库中。该方法还包括在数据库中的数据上迭代以估计模型的一个或多个系数，并且如果一个或多个测量丢失，基于来自所述模型的预测取代丢失测量。模型用所述系数估计更新。该方法另外还包括在来自数据库的数据上迭代以估计过程状态，并且如果测量的一个或多个从数据库中丢失，基于来自模型的预测取代丢失测量。模型用所述过程状态估计更新。控制器可以接收更新的模型并且利用模型产生下一个过程输入。更新的模型也可以用来产生可测量过程变量的估计，其中估计可以与实际测量相比较以确定估计是否在置信界限内。如果估计不在置信界限内，故障被指出。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 状态 模型 参数估计 半导体 批次 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制制造过程的方法，包括：使用过程输入进行处理并且产生过程输出；将过程输入存储在数据库中；将过程输出的至少一个测量与每个过程输入相关联地存储在数据库中；在来自数据库的数据上迭代以估计过程状态；如果一个或多个测量从数据库中丢失，则基于来自模型的预测为数据库取代丢失测量；以及以所述过程状态估计更新所述模型。
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