[发明专利]高频电源及其控制方法、和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 02824577.6 | 申请日： | 2002-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1602651A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 速水利泰;大濑刚;高平淳一;岛田淳一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种高频电源，它能够通过高精度地除掉等离子体生成时产生的高次谐波成分或调制波成分而防止误动作，同时，对等离子体处理装置施加适当的高频功率。高频电源包括由方向性结合器21、混频器22、100kHz的低通滤波器23、低频检波器24、和振荡器25构成的功率监视器，通过混频器22将包含由方向性结合器21取出的调制波成分等频率100MHz的高频波和由振荡器25振荡的频率99.9MHz的高频波相加，并通过低通滤波器23及低频检波器24将该输出变换成100kHz后进行检波。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电源 及其 控制 方法 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种高频电源，包括：高频功率产生源，产生用于在等离子体处理装置的容器中生成等离子体的高频功率；和控制部件，从由所述高频功率产生源产生的高频功率中除掉所述等离子体生成时产生的高次谐波成分及调制波成分，来控制所述高频功率，其特征在于，所述控制部件将由所述高频功率产生源产生的高频功率变换成规定的频率的低频功率，并根据该低频功率进行检波。
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