[发明专利]具有可前移的清扫器的电化学机械加工无效
| 申请号： | 02826490.8 | 申请日： | 2002-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1646263A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 布伦特·M·巴索尔;哈利特·N·亚库普奥卢;齐普里安·E·乌佐;胡马云·塔利 | 申请（专利权）人： | ASM纳托尔公司 |
| 主分类号： | B24B21/04 | 分类号： | B24B21/04;B24B37/04;H01L21/288;C25D5/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用工艺溶液电化学机械加工工件表面的设备，该设备包括一接触工艺溶液的电极、一个在供应卷轴和接纳卷轴之间延伸的带状工件表面影响装置。在加工过程中，工件表面被放置得接近工件表面影响装置，在势差施加在电极和工件表面之间时，工艺溶液穿过加工部分流向表面。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可前移 清扫 电化学 机械 加工 | ||
【主权项】：
1.一种利用溶液对工件表面进行电化学机械加工的设备，它包括：一个接触溶液的电极；一个在供应结构和接纳结构之间延伸并安装在其上的工件表面影响装置，所述工件表面影响装置的一部分设置得接近工件表面，其中溶液通过工件表面影响装置的所述部分中的开口流向工件表面，在电极和工件表面之间维持一个势差；以及一个用于在溶液穿过工件表面影响装置的所述部分时直线移动工件表面影响装置的所述部分的机构。
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