[发明专利]用于光致抗蚀剂的剥离组合物无效
| 申请号： | 03100735.X | 申请日： | 2003-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1517802A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 朴弘植;姜圣哲;赵弘济;朴爱娜 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄益芬;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于光致抗蚀剂的TFT－LCD高性能剥离剂组合物，并且更具体地是涉及用于抗蚀剂的剥离剂组合物，包含20％至60％重量的单乙醇胺、15％至50％重量的N，N－二甲基乙酰胺、15％至50％重量的卡必醇以及0.1％至10％重量的没食子酸。本发明还提供了用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物，包含20％至60％重量的单乙醇胺、15％至50％重量的N，N－二甲基乙酰胺、15％至50％重量的卡必醇。本发明的用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物在应用于TFT－LCD生产过程时，显著地降低了剥离时间。而且其因为具有良好的剥离能力也不会留下杂质颗粒，并且因为能够省略硬焙烤和磨光过程，所以能够简化门处理，降低了成本。此外，当其应用在使用银(Ag)作为反射/透射层的过程时，提供了纯银层的耐腐蚀能力和剥离能力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物，包含(a)20％至60％重量的单乙醇胺；(b)15％至50％重量的N，N-二甲基乙酰胺；(c)15％至50％重量的卡必醇；和(d)0.1％至10％重量的没食子酸。
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