[发明专利]用于用来对衬底进行涂覆的装置的小船式汽化器无效
| 申请号： | 03101653.7 | 申请日： | 2003-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1432660A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | G·费希尔;G·克勒姆;A·韦斯 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军,赵辛 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一用于用来在一涂膜室内对衬底进行涂覆的装置的小船式汽化器(1)可通过直接的电流流通加热。汽化器(1)具有一用来容纳待汽化的金属的熔液的空腔(2)以及一用于待小船式汽化器(1)熔化和汽化的、以金属丝(5)为表现形式的金属的输入装置。金属丝(5)在熔化岛(3)的一位于比空腔(2)的底(6)高的加热面(4)上熔化。此加热面(4)基于小船式汽化器(1)的造型或材料具有比空腔(2)的底(6)低的温度。在加热面上熔化的金属从加热面(4)流入空腔(2)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 用来 衬底 进行 装置 小船 汽化器 | ||
【主权项】：
1.用于用来在一涂膜室内对衬底进行涂覆的装置的小船式汽化器(1)，其中，小船式汽化器(1)可通过直接流通电流加热，并有一具有底(6)的、用来容纳待汽化的金属的熔液的空腔(2)以及一用于待小船式汽化器(1)熔化和汽化的、以金属丝(5)为表现形式的金属的输入装置，其特征为：用来熔化金属丝(5)的小船式汽化器(1)具有一比空腔(2)的底(6)高的加热面(4)，此加热面基于小船式汽化器(1)的造型或在这个加热面(4)区域内的材料具有比空腔(2)的底(6)低的温度，并且小船式汽化器(1)为使在加热面(4)上熔化的金属流入空腔(2)内的结构。
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