[发明专利]光源元件、照明装置、曝光装置及曝光方法无效
| 申请号： | 03107145.7 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1444099A | 公开（公告）日： | 2003-09-24 |
| 发明（设计）人： | 小山元夫 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D25/02;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种曝光装置，能够不招致光量损失，正确检出光源的光量变化，以保持光源照射的照明光的光量为一定。其手段为在该光源元件配设：光源(1)；及电力供应手段(36)，供给该电源电力；及反射镜(3)，将该光源照射的照明光，反射到被照射侧；及吸光手段(8a)，吸收该反射镜的漏光；及检出手段(30a、30b)，检出射入该吸光手段的漏光的光量；以及电力量控制手段(34)，依据该检出手段检出的漏光的光量，控制该电力供应手段供给该光源的电力量。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 元件 照明 装置 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光源元件，其特征为，具备：光源；及电力供应手段，供给该光源电力；及反射镜，将该光源照射的照明光，反射到被照射体侧；及吸光手段，其吸收该反射镜的漏光，及检出手段，检出射入该吸光手段漏光的光量；以及电力量控制手段，依据该检出手段检出的漏光的光量，控制该电力供应手段供给光源的电力量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于尼康株式会社，未经尼康株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03107145.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：通信设备，信息和来电显示方法，程序和存储介质
- 下一篇：软骨植入物的制造方法
