[发明专利]对偏移具有低灵敏度的光学位移传感装置

摘要

本发明公开了一种用于测定衍射标度光栅相对位移的光位移传感装置，该光栅可以具有小于传感装置光波长的光栅间距。该传感装置包括分光束输入部分用于沿各自光路输入两条分光束，和光路引导部件用于沿会聚光路引导两条分光束至标度光栅上的第一区而沿发散光路产生两条衍射光束。该传感装置进一步包括后向反射部件用于接收两条发散衍射光束并沿光路后向反射它们，该光路向标度光栅上的第二区会聚，从而产生两条后衍射光束，然后将这两条后衍射光束引导至共享区。可安置后向反射器以消除跨接光束并不需要偏光器。光检测器检测至少一个产生于共享区的发光特性，因而检测到标度光栅沿测量轴的位移。

主权项

本发明在其中要求保护专有特性或权利的实施例如下限定：1.一种用于测定标度沿测量的轴相对位移的装置，该标度具有沿测量轴形成的光栅，该装置包括：分光束输入部分；两个或更多的光束引导部件；两个或更多的后向反射部件；和光学检测器；其中：安置分光束输入部分，以沿各自光路输入两束分光束；安置两个或更多光束引导部件，以沿它们各自的光路接收两束分光束，并沿各自的会聚光路引导两条分光束至标度光栅上的第一区，两条分光束从第一区沿各自光路产生两条衍射光束，该衍射光束发散进入两个或更多的后向反射器部件；安置两个或更多的后向反射部件，以接收来自第一区的两束衍射光束，并沿各自会聚光路将两束后向反射光束后向反射至标度光栅上的第二区；以及两束后向反射光束沿各自光路从第二区产生两条后衍射光束，该光路发散而被各自的光束引导部件接收并引导进入共享区；以及光检测器检测至少一个产生于共享区的发光特性，该检测到的至少一个发光特性可用于确定标度的相对位移。