[发明专利]扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪无效
| 申请号： | 03116028.X | 申请日： | 2003-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1438655A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 余昶;王晖;邹志强;梁齐;王庆康 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G12B21/04 | 分类号： | G12B21/04;G01N13/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪属于测试技术领域。本发明由电路和电解池装置两个部分组成，电路包括电源输出部分电路、制动部分电路、逻辑判断及鸣警部分电路和电解池变化反馈部分电路，电解池装置由完全相同的左右两部分组成，其中两通管一边各焊接一悬臂，另一边通过螺母各固定于中心轴上，两中心轴设置在两底座上，两悬臂的末端通过螺母分别固定有阴极线圈或阳极钨丝，电解池设置在两底座中间，用与电路正负极相连的鳄鱼夹分别夹住阳极钨丝和阴极线圈上部，作为电解池的阴阳两电极。本发明的电路自动切断的响应时间约为100ns，能提高了针尖的锐度，装置结构小巧，拆装更为简便，移动方便提高工作了效率，自动报警无需监视，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 针尖 自动控制 刻蚀 | ||
【主权项】：
1、一种扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪，包括：电解池装置(2)，其特征在于还包括：电路(1)，电路(1)包括电源输出部分电路a、制动部分电路b、逻辑判断及鸣警部分电路c和电解池变化反馈部分电路d，电解池装置(2)由完全相同的左右两部分组成，其中两通管(3)的一边各焊接一悬臂(4)，另一边通过螺母各固定于一中心轴(5)上，两中心轴(5)设置在两底座(6)上，两悬臂(4)的末端通过螺母分别固定有阴极线圈(7)或阳极钨丝(8)，电解池(9)设置在两底座(6)中间，与电路(1)正负极相连的鳄鱼夹(10)分别夹住阴极线圈(7)和阳极钨丝(8)上部，作为电解池(9)的阴阳两电极。
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