[发明专利]正型化学放大型光阻组成物无效
| 申请号： | 03121330.8 | 申请日： | 2003-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1448793A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 难波克彦;中西润次;上谷保则 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种正型化学放大型光阻组成物，其包括交联剂、酸产生剂与本身不溶或难溶于碱性水溶液，但在酸的作用下会裂解且具有保护基，此保护基在裂解后使其转变成可溶于碱性水溶液的树脂组成物。此正型化学放大型光阻组成物可维持高敏感度与成膜率，又同时保有高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 组成 | ||
【主权项】：
1.一种正型化学放大型光阻组成物，其特征是，其包括：一交联剂：一酸产生剂；以及一树脂，该树脂本身为不溶或难溶于一碱性水溶液，但经由酸的作用下裂解而具有一保护基，该保护基裂解后就会转变成可溶于该碱性水溶液。
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