[发明专利]基板传送机台及其检测装置有效
申请号: | 03123242.6 | 申请日: | 2003-04-24 |
公开(公告)号: | CN1540408A | 公开(公告)日: | 2004-10-27 |
发明(设计)人: | 林威呈;古国仕;叶启聪;薛裕耀 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G01N21/89 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 何秀明;李晓舒 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种基板传送机台及其检测装置,其中基板传送机台包括多个滚子、一举起构件、多个第一检测器、以及一第二检测器;滚子和举起构件分别用以传送和举起基板,而第一检测器用以检测基板是否有缺角;第二检测器用以检测基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一检测器耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止,并起动第一检测器检测基板是否有缺角,当第一侦测器没有检测到缺角时,发出一信号达到举起构件。 | ||
搜索关键词: | 传送 机台 及其 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种检测装置,适用于一机台,该机台用以传送一基板,且具有一举起构件以及多个滚子,该检测装置包括:多个第一检测器,用以检测该基板是否有缺角;以及一第二检测器,用以检测该基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一检测器耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止,且起动第一检测器检测基板是否有缺角,当第一检测器没有检测到缺角时,发出一信号到达举起构件。
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