[发明专利]有机薄膜形成设备用加热坩埚有效
| 申请号： | 03125515.9 | 申请日： | 2003-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1495284A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 崔然洙;宋玉根;金炯民;氏原孝志;胁本健夫;桥本尚文 | 申请（专利权）人： | 三星日本电气移动显示株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/12;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 黄力行 |
| 地址： | 韩国蔚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于有机薄膜形成设备的加热坩埚，其没有由于有机物质在喷嘴附近的盖子的内壁上再结晶造成的盖子的喷嘴堵塞，并且可以准确、容易地测量并控制加热坩埚内的温度。加热坩埚包括容纳有机物质的主体，置于主体上的盖子，盖子由绝缘材料形成并且具有一个喷嘴，气态有机物质经喷嘴从主体中出来，在盖子的顶面上以薄膜形形成的盖子加热器，安装的体加热器包围了主体的外壁。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 薄膜 形成 备用 加热 坩埚 | ||
【主权项】：
1.一种有机薄膜形成设备用加热坩埚，该加热坩埚包括：容纳有机物质的主体；位于主体上的盖子，该盖子由绝缘材料形成并且具有喷嘴，气态有机物质通过喷嘴从主体中出来；在盖子顶面上以薄膜形形成的盖子加热器；用于加热主体的体加热器。
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