[发明专利]基于硅微机械技术的N×N光开关有效
| 申请号： | 03128991.6 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1456908A | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;屈红昌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B6/35;G02B6/28 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于微机械技术的N×N光开关，其特征在于先制作2N个1×N或N×1光开关，然后将1×N或N×1光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射镜和驱动装置的连接方式。所采用的驱动装置，以及驱动装置的制作。其中夹持板采用硅微机械技术制作，反射镜和驱动装置的连接采用键合技术，以及硅微机械技术制作的连接方式。采用上述方法制作光纤阵列板、反射镜阵列，再配以透镜阵列，作为光耦合层、光传输层、光反射驱动层，构成了N×N光开关。可以大大的减小光开关的体积，降低N×N光开关的装配难度，增大光开关的容量，从而易于实现N×N的光交换。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 技术 开关 | ||
【主权项】：
1、一种基于硅微机械技术制作的N×N光开关，其特征在于它是由光反射驱动层，光传输层和光耦合层三层构成，通过光纤的熔接实现N×N光开关。
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