[发明专利]大口径光学元件损伤在线检测装置无效
| 申请号： | 03129347.6 | 申请日： | 2003-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1475796A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 任冰强;黄惠杰;张维新;赵永凯;刘丹;韩广礼;杜龙龙;王树森;路敦武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和CCD摄像机；激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜的表面成45°，通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成；所述的CCD摄像机和计算机组成图像处理系统。本发明的优点是操作简单、检测效率高、检测可靠性高，既可目视观测，又可用CCD摄像机采集图像，可以准确地得出损伤点的尺寸和位置。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 光学 元件 损伤 在线 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特征在于：所述的照明光路是激光照明光路，包括激光光源(4)，沿激光光源(4)发出的光束前进方向上，依次设置有照明平行光管(5)、分光镜(6)，然后进入扫描系统：所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜(6)、接收平行光管(9)，在接收平行光管(9)之后同时接设有观察目镜(10)和CCD摄像机(11)；所述的激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜(6)的表面成45°，通过分光镜(6)后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜(7)和第二扫描反射镜(8)组成；所述的CCD摄像机(11)和计算机(12)组成图像处理系统。
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