[发明专利]静电驱动式微机械可变电感器无效
| 申请号： | 03131650.6 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1461018A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;郑惟彬;廖小平;孙莹 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01F21/00 | 分类号： | H01F21/00;H02N1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感和驱动器组成，平面螺旋电感和驱动器设在衬底上，驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极和兼电极的悬臂梁组成，在控制电极上且处于控制电极和悬臂梁之间的位置设有绝缘介质层，在悬臂梁上至少设有2个触点，该触点位于平面螺旋电感的上方。当有外加直流驱动电压施加于静电驱动器时，悬臂梁在静电力的作用下发生弯曲。当直流电压增大到某一值时，悬臂梁自由端最外面的触点首先和平面螺旋电感相接触，此时输出一电感值；随着驱动电压的逐渐增大，悬臂梁自由端的触点依次和平面螺旋电感相接触，输出的电感值逐渐变小，实现输出电感可调。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 式微 机械 可变 电感器 | ||
【主权项】：
1、一种静电驱动式微机械可变电感器，由平面螺旋电感(1)和驱动器组成，平面螺旋电感(1)和驱动器设在衬底(5)上，其特征在于驱动器为静电驱动器，该静电驱动器由控制电极(2)和兼电极的悬臂梁(4)组成，在控制电极(2)上且处于控制电极(2)和悬臂梁(4)之间的位置设有绝缘介质层(3)，在悬臂梁(4)上至少设有2个触点(6)，该触点(6)位于平面螺旋电感(1)的上方。
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