[发明专利]感应耦合天线以及使用该天线的等离子体处理装置无效
| 申请号： | 03132667.6 | 申请日： | 2003-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1516536A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 金泰完;尤利·N·托尔马契夫;马东俊 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李瑞海;王景刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有能提高等离子体均匀性的结构的感应耦合天线以及一种使用该感应耦合天线的等离子体处理装置。感应耦合天线安装在感应耦合等离子体(ICP)处理装置的反应室上，并与射频(RF)电源相连，以便感应产生电场，用于使注入反应室内的气体反应物离子化并产生等离子体。感应耦合天线包括有多圈的线圈，其中，流过最外圈的电流大于流过内圈的电流。最外圈和内圈与RF电源并联连接，内圈彼此串联连接。该感应耦合天线包括：导体金属管，该导体金属管有冷却通道；以及导体金属条带，该导体金属条带与该金属管的底部电连接和热连接。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 天线 以及 使用 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种感应耦合天线，它安装在感应耦合等离子体(ICP)处理装置的反应室上，并与射频(RF)电源相连，以便感应产生电场，用于使注入反应室内的气体反应物离子化并产生等离子体，该感应耦合天线包括具有多圈的线圈，其中，流过最外圈的电流大于流过内圈的电流。
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