[发明专利]高温衬底传送机械手无效
| 申请号： | 03133101.7 | 申请日： | 2003-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1504306A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 克里斯·H·潘斯兹;杰弗瑞·C·哈得根斯;戴蒙·K·库克斯;迈克·瑞斯;杰米斯·R·丘里克 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一般地，提供用于在加工系统中传送衬底的机械手。在一个实施方式中，用于在加工系统中传送衬底的机械手包括主体、连杆和末端执行器(适于保持衬底于其上)。连杆将末端执行器与主体连接在一起。末端执行器和/或连杆由热膨胀系数小于大约5×10－6Kelvin－1的材料组成。在另外一个实施方式中，末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于10W/(m×Kelvin2)的材料组成。在再一个实施方式中，末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于10W/(m×Kelvin2)而且断裂韧性大于1×106Pa×m0.5的材料组成。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 衬底 传送 机械手 | ||
【主权项】：
1、一种用于在加工系统中传送衬底的机械手，包括：主体；适合于保持衬底于其上的末端执行器；和将末端执行器连接到主体上的连杆，其中末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于大约10W/(m×K2)的材料组成。
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