[发明专利]气态束源炉瞬态开关控制真空装置无效
| 申请号： | 03136238.9 | 申请日： | 2003-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1548576A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 牛智川;倪海桥;徐晓华;徐应强;张纬;韩勤;吴荣汉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种气源炉瞬态开关控制真空装置，包括：一不锈钢超高真空腔体；一气动阀，与不锈钢超高真空腔体的一端连接；一气态束源炉，安装在不锈钢超高真空腔体内；一气动阀门，与不锈钢超高真空腔体的中段连接；一真空泵，与气动阀门的另一端连接；一手动阀，与不锈钢超高真空腔体的另一端连接；一质量流量计，与手动阀连接；一手动阀门，与质量流量计连接；一气体管路，其两端分别与质量流量计和手动阀门连接；一气体容器，与手动阀门连接；一超高真空腔体，与气动阀连接，该超高真空腔体接有一高真空泵；一计算机分别控制质量流量计、气动阀和气动阀门，实现气流方向通入超高真空腔体或切换到旁路真空泵。 | ||
| 搜索关键词： | 气态 束源炉 瞬态 开关 控制 真空 装置 | ||
【主权项】：
1、一种气源炉瞬态开关控制真空装置，其特征在于，其中包括：一不锈钢超高真空腔体；一气动阀，该气动阀与不锈钢超高真空腔体的一端连接；一气态束源炉，该气态束源炉安装在不锈钢超高真空腔体内；一气动阀门，该气动阀门与不锈钢超高真空腔体的中段连接；一真空泵，该真空泵与气动阀门的另一端连接；一手动阀，该手动阀与不锈钢超高真空腔体的另一端连接；一质量流量计，该质量流量计与手动阀连接；一手动阀门，该手动阀门与质量流量计连接；一气体管路，该气体管路的两端分别与质量流量计和手动阀门连接；一气体容器，该气体容器与手动阀门连接；一超高真空腔体，该超高真空腔体与气动阀连接，该超高真空腔体接有一高真空泵；一计算机分别控制质量流量计、气动阀和气动阀门，实现气流方向通入超高真空腔体或切换到旁路真空泵。
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