[发明专利]复合气相沉积材料和由其制成的复合沉积薄膜

摘要

公开了一种复合气相沉积材料，适用于制作用于有机电致发光元件的低光反射率电极。这种复合气相沉积材料包括有孔穴的低电阻率包套和由填充在孔穴中的高蒸汽压金属粉末与低电阻率金属粉末混合物组成的芯。低电阻率包套可以由铝制成，高蒸汽压金属粉末可由锰制成，低电阻率金属粉末可由铝制成。由复合气相沉积材料沉积的复合薄膜具有从初始沉积阶段低光反射率到最终沉积阶段低电阻率的连续变化的成分。

主权项

1.一种复合气相沉积材料，用于制备从初始沉积阶段到最终沉积阶段成分连续变化的复合沉积薄膜，包括具有孔穴的低电阻率金属包套和由填充在孔穴中的高蒸汽压金属粉末与低电阻率金属粉末混合物组成的芯，高蒸汽压金属具有比组成包套的低电阻率金属和填充在孔穴中的低电阻率金属中的任一个更高的蒸汽压。