[发明专利]一种光刻胶涂敷装置有效
| 申请号： | 03147269.9 | 申请日： | 2003-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1570766A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 陈望生;曾增魁 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李宗明;杨梧 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是提供一种光刻胶涂敷装置，该光刻胶涂敷装置主要包括：一用来放置至少一光刻胶瓶的储存槽，该光刻胶瓶是用来存放该光刻胶涂敷装置运作所需的光刻胶溶剂；一冷却系统，该冷却系统用来冷却该光刻胶瓶内的光刻胶溶剂，使该光刻胶瓶内的光刻胶溶剂保持低温；一升温系统，该升温系统用来加热由该光刻胶瓶输出的光刻胶溶剂至适当温度，以及一自动供墨系统，该自动供墨系统用来吸取与输送该光刻胶溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶涂敷 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶涂敷装置，该光刻胶涂敷装置包括：一储存槽，该储存槽用来放置至少一光刻胶瓶，该光刻胶瓶是用来存放该光刻胶涂敷装置运作所需的光刻胶溶剂；一冷却系统，该冷却系统用来冷却该光刻胶瓶内的光刻胶溶剂；一升温系统，该升温系统用来加热该光刻胶溶剂；以及一自动供墨系统，该自动供墨系统用来吸取与输送该光刻胶溶剂。
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