[发明专利]用于化学汽相淀积工艺的原材料供给装置无效
| 申请号： | 03147802.6 | 申请日： | 2003-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1482083A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 姜求永 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/012 | 分类号： | C03B37/012;C03B37/018;C23C16/448;G02B6/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于化学汽相淀积工艺的原材料供给装置，所述装置包括用于蒸发液体原材料并且供给淀积单元蒸发的原材料的起泡器；及用于供给起泡器液体原材料的原材料箱，其中原材料箱预先保存将供给起泡器的液体原材料并且预热液体原材料，并且原材料箱内的原材料通过多个空心的微管供给起泡器，并且其中当起泡器内的原材料逐渐消耗时，调节原材料箱的内部压力，改变供给起泡器的原材料量，由此调节起泡器内的原材料量和起泡器内的蒸汽压力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 汽相淀积 工艺 原材料 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于供给化学汽相淀积工艺中使用的原材料的装置，所述装置包括：起泡器，用于蒸发用于后继淀积的液体原材料并供给到淀积单元；及箱，用于预热液体原材料，所述预热的液体原材料用于通过多个空心的微管后继供给到起泡器，其中当起泡器内的液体原材料蒸发时所述箱的内部压力增加，由此保持起泡器内的液体原材料量和蒸汽压力实质上均匀一致。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03147802.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
