[发明专利]阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置

摘要

本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关键点，在硅片上刻写校准子图形，当套刻进行到图形关键点时，读取校准子图形坐标，并将该坐标与记录的校准子图形的坐标进行比较。本发明的装置中，工作台放置在基座上，由精密伺服电机驱动，待加工硅片通过吸盘固定于工作台上，校准光学头和光探针阵列位于硅片上方，一对校准光学头位于光探针阵列中间，光探针阵列呈矩形排列。采用本发明进行对准，可以一次对准所有电路图形，节省了对准时间，提高了对准效率。

主权项

1、一种用于阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准装置，其特征在于该装置包括基座、工作台、光探针阵列和校准光学头；所述的工作台放置在基座上，由精密伺服电机驱动，沿X、Y方向运动，待加工硅片通过吸盘固定于工作台上，所述的校准光学头和光探针阵列位于硅片上方，一对校准光学头位于光探针阵列中间，沿Y轴对称，光探针阵列呈矩形排列。