[发明专利]基底固定件以及器件制造方法无效
申请号: | 03155517.9 | 申请日: | 2003-07-09 |
公开(公告)号: | CN1487365A | 公开(公告)日: | 2004-04-07 |
发明(设计)人: | J·W·M·克里克哈尔;H·J·M·范贝斯特维尔德特;A·W·E·明奈尔特;M·A·J·托伊文;J·洛夫 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03B27/54;H01L21/68;H01L21/027 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 一种将小晶片装配到适于接收较大晶片的光刻装置上去的基底固定件,包括一个具有结点图案的较大硅片,其中在该图案上放置小晶片,用来对小晶片进行定位的定位插脚,以及由夹具环以及磁体构成的夹具,其中该磁体同较大晶片相连在一起。 | ||
搜索关键词: | 基底 固定 以及 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基底固定件,包括:一个可由光刻装置接收、具有第一额定大小的板件,以及一个用于固定具有第二额定大小的基底的夹具。
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