[发明专利]改进的加热压力传感器总成无效
| 申请号： | 03158779.8 | 申请日： | 1997-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1515886A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·C·潘多夫;阿奇博尔德·J·德蒙;弗兰克·W·托马斯;史蒂文·D·布兰肯希普 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01L7/00 | 分类号： | G01L7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加热压力传感器(80)，其包括一外封闭件(92)、置于该外封闭件(92)内的第一热壳(12)，以及置于第一热壳(12)内的一传感元件(90)。该传感器(80)还包括一加热第一热壳(12)的加热元件(14)和一控制该加热元件(14)的控制单元。一根管子(10)将该传感元件(90)与一加热、加压的气体源(112)连接，以及该传感器(80)还可包括一管加热元件(112)，它由该控制单元进行控制，以便向该管子(10)施加热量。该传感器也可包括第二热壳，它置于该外封闭件(92)内，该控制单元的至少一部分置于第二热壳内。由该控制单元控制的一个加热元件可置于第二热壳的邻近，用来加热该热壳。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 加热 压力传感器 总成 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器总成，包括：(A)一个限定一内腔的封闭件；(B)一个压力传感元件，它设置于所述内腔的一部分中，并包括一接纳气体或蒸汽的输入口，用于在该输入口处检测该气体或蒸汽的压力，该压力作为一参数值的函数，该参数值按该输入口处该气体或蒸汽的压力而变化；(C)一个控制单元，它设置于所述内腔的另一部分中，包括信号状态装置，用来检测该参数值并响应于该参数值产生代表所述输入口处压力的一个输出信号；该控制单元包括第一控制装置，用来将所述传感元件控制在第一预选温度，以及该控制单元包括第二控制装置，用来将所述控制单元控制在第二预选温度，第二预选温度不同于第一预选温度。
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