[实用新型]视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源无效
| 申请号： | 03200996.8 | 申请日： | 2003-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN2594277Y | 公开（公告）日： | 2003-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吴先映;李强;张荟星;张胜基;张孝吉 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种视线外磁过滤金属蒸汽真空弧等离子体沉积源，采用磁过滤方法传输真空弧产生的等离子体到视线外的真空室中，从而消除液滴或颗粒到达处理工件导致镀层缺陷。为了得到高质量的沉积薄膜，过滤器管道内壁有特殊的凹槽设计以防止液滴或颗粒的反射，过滤器可串联。过滤器管道上加正偏压以提高过滤器的等离子体传输效率。同时在过滤器管道出口附加桶形磁场等离子体均化器。本实用新型适用于高光洁度、高密度、良好的薄膜与基体结合等高质量快速沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 视线 过滤 金属 蒸气 真空 等离子体 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源，它包括阴极(1)、阳极(3)、触发极(2)、磁过滤管道(4)、等离子体均化器(11)，其特征在于通过磁过滤管道外的磁场线包(5)产生的磁场传输等离子体。
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