[实用新型]真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板无效
| 申请号： | 03210900.8 | 申请日： | 2003-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN2592656Y | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 宋航;李志明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能解决频繁更换玻璃的问题，能够在操作设备时，更方便看清真空室内的情况，从而能提高蒸发器件的成品率。本实用新型提供一种结构简单、操作方便、蒸发器件的成品率高、能在真空镀膜时始终能观察到蒸发情况的真空室观察窗转动档板。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 系统 真空 观察窗 转动 档板 | ||
【主权项】：
1、真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板，其特征在于：包括基板10、观察孔11、转轮12、转动轮13、弹簧14、磁铁15和观察孔16，在基板10本体的中心线上制备观察孔11和观察孔16，在基板10的本体上固定安置有转轮12、转动轮13、弹簧14和磁铁15，磁铁15位于基板10边缘，观察孔11位于基板10的边缘，观察孔16位于观察孔11的内侧并且偏置于基板10的中心，转轮12和转动轮13均匀分布安置在基板10上，在转轮12与转动轮13之间或在转轮12之间安置观察孔11，弹簧14置于转动轮13的转动轴上。
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