[实用新型]用于原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置无效
| 申请号： | 03276452.9 | 申请日： | 2003-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN2641641Y | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 费义艳;吕惠宾;朱湘东;陈正豪;周岳亮;金奎娟;程波林;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01J4/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置，该装置包括：激光器输出光的前方安置一起偏器，起偏器出射的偏振光经过前方的光路上安置光偏振调制器，输出光路上安置电光调制器件，经过调制的输出光入射外延室窗口后，入射到被探测的外延基片表面，经外延层膜表面反射后的光从外延室窗口输出，通过检偏器后输出到探测器，探测器、放大器和数据采集处理系统电联接。该装置独立于制膜系统外，不受制膜温度和气压等条件的限制，能同时获得基频和倍频两路信号，可探测原胞层状外延生长的信息。具有应用面广、获取信息多、使用简便等特点，是用于监控薄膜层状外延生长和研究成膜机理的有力工具。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原位 实时 探测 薄膜 生长 状况 反射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于原位实时探测薄膜生长状况的光反射差装置，包括：激光器(1)、起偏器(5)、光偏振调制器(6)、光电探测器(15)、滤波电路(16)、放大器(17)和数据采集处理系统(18)；其特征在于：还包括电光调制器件(7)和检偏器(14)；其中激光器1输出光的前方安置一个起偏器(5)，起偏器(5)出射的偏振光经过前方的光路上安置一光偏振调制器(6)，输出光路上安置一电光调制器件(7)，经过调制的输出光入射外延室窗口(10)后，入射到被探测的外延基片(12)表面，经外延层膜表面反射后的光从外延室窗口(13)输出，通过检偏器(14)后输出到探测器(15)；探测器(15)、滤波电路(16)、放大器(17)和数据采集处理系统(18)电联接，其中滤波电路(16)的一个电阻并联在探测器(15)的输出端，另一个电阻并联在放大器(17)的输入端。
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