[发明专利]不饱和单体、聚合物、化学增幅抗蚀剂组合物、和形成图案的方法

摘要

本发明提供化学增幅抗蚀剂组合物，该组合物具有对波长不超过220纳米的光的高透明性，优异的抗蚀性，和优异的对衬底的粘附力。通过使用至少一种如下的重复结构单元制备化学增幅抗蚀剂组合物：由通式(III)表示的具有桥接脂环式γ－内酯结构的重复结构单元、由通式(IV)表示的具有桥接脂环式γ－内酯结构的重复结构单元、和由通式(V)表示的具有桥接脂环式γ－内酯结构的重复结构单元。

主权项

1.一种由通式(I)表示的具有桥接脂环式γ-内酯结构的(甲基)丙烯酸酯衍生物：其中R¹表示氢原子或甲基，R²和R³各自表示氢原子或碳数为1～6的烷基，或R²和R³互相连接，并且各自表示与和R²和R³结合的碳原子一起形成环的、碳数为1～6的亚烷基，X表示-CH₂-或-O-，Z表示氢原子或甲基，和n表示0或1，其中当n表示0和X表示-CH₂-时，R²和R³各自表示碳数为1～6的烷基。