[发明专利]圆盘状元件保持装置无效
| 申请号： | 03805434.5 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1639382A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 越川政人;石崎秀树;江本淳 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;H01L21/68;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种对即使是在中央部位没有贯通孔的圆盘状元件也可进行良好的定位保持的圆盘状元件保持装置。在基板(1)上设置接合部(1B)，在基板保持侧的贴合部(11)设置接合部(11B)。通过这些接合部将基板(1)保持在保持装置(10)上。通过机械卡盘(15)来保持基板(1)的外周边部。使基板(1)在变形成一凹面形状的状态下被保持。如此，即使是对在中央部位没有贯通孔的基板(1)也可以进行良好的定位保持，可以提高通过溅射处理形成的薄膜质量的均匀化程度。还可以提高贴合面(1A)与贴合面(11A)的紧贴程度，从而可以提高在溅射处理时对基板(1)的冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状元 保持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种圆盘状元件保持装置，它包括在使该圆盘状元件变形而使得该圆盘状元件的待处理表面变形成预定凹面形状的同时保持该圆盘状元件的保持结构。
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