[发明专利]ECR等离子体源和ECR等离子体装置有效
| 申请号： | 03807747.7 | 申请日： | 2003-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1647593A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 松尾诚太郎;野崎俊行;田中富三男 | 申请（专利权）人： | NTTAFTY株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205;C23C14/22;C23C16/511 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的ECR等离子体源由在与等离子体流垂直的面内有大致矩形截面的等离子体生成室(10)；在与等离子体流垂直的面内卷绕成大致矩形的磁性线圈(20、21)；和端部为终端的直接导入方式或分支结合导入方式的导波管(30)或微波空洞共振器构成。将微波从设置在该导波管(30)或微波空洞共振器内部的与微波同相部相当的侧面上的多个开口部(34)，传送到等离子体生成室(10)内。另外，ECR等离子体装置中具有所述ECR等离子体源，还具有移动大型试料用的试料移动机构。 | ||
| 搜索关键词： | ecr 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种ECR等离子体源，其特征为，它具有：利用由微波产生的电子回旋共振(ECR)生成等离子体，并从开口部取出等离子体流的等离子体生成室；在该等离子体生成室内产生静磁场用的卷绕有磁性线圈的至少一个磁场发生部件；和将从微波发送部件传送来的微波，导入所述等离子体生成室内的微波导入部件，所述等离子体生成室和该等离子体生成室的开口部是与在所述等离子体生成室内生成的等离子体流的方向垂直的截面形状为大致的矩形；所述磁场发生部件的磁性线圈，在与所述等离子体流的方向垂直的面内，卷绕成大致的矩形；所述微波导入部件以端部为终端，以便在该微波导入部件内部中构成形成微波的驻波的中空的导波管；在该导波管的内部，以相当于微波的驻波的管内波长λg的间隔，设置具有至少一个开口部的多个开口区域，将同相的微波通过该开口部导入所述等离子体生成室内。
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