[发明专利]具有易于更换的接口单元的半导体测试系统无效
申请号: | 03808609.3 | 申请日: | 2003-04-14 |
公开(公告)号: | CN1646931A | 公开(公告)日: | 2005-07-27 |
发明(设计)人: | 尼尔·R·本特利;迈克尔·A·丘;韦恩·佩蒂托 | 申请(专利权)人: | 泰拉丁公司 |
主分类号: | G01R31/20 | 分类号: | G01R31/20 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 顾红霞;车文 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种用于帮助自动测试系统更换接口单元的分组件。所公开的实施例示出了带有运料器和测试仪的自动测试系统。接口单元是设备接口板(DIB)。这个分组件可以使得DIB易于接近,而且能与测试系统正确地对准。无需专门的工具就能更换DIB。 | ||
搜索关键词: | 具有 易于 更换 接口 单元 半导体 测试 系统 | ||
【主权项】:
1.一种包括适于更换接口单元的分组件的自动测试系统,该分组件包括:a)具有第一末端和一个第二末端的底部,该第一末端可移动地附着于自动测试系统上;b)至少一个与所述底部元件滑动耦合的平台;c)可移动地附着于平台上的接口单元。
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