[发明专利]二次电子探测器,尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器无效
| 申请号： | 03813724.0 | 申请日： | 2003-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1659679A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 马库斯·卡奇亚;马丁·扎德拉日尔;菲利普·洛保尔 | 申请（专利权）人： | 泰斯坎公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦;方挺 |
| 地址： | 捷克布*** | 国省代码： | 捷克;CZ |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二次电子探测器(1)，尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器。本发明的主题是提供一种二次电子探测器，其由位于探测器室(3)内的传感器(2)组成，一真空泵(10)与探测器室连接以使得该探测器室(3)内产生真空，该探测器室(3)接近所述传感器(2)的有效表面的壁被光阑封闭，形成对于气体的传输具有高阻抗、对于电子的传输具有低阻抗的特征。导电性隔栅(11)以铜屏幕的形式或具有孔(13)的卡普敦隔膜(12)的形式制造，并且其两面都有导电涂层(14，15)。上述导电性隔栅(11)在探测器室(3)外部覆盖有一输入屏幕(18)，其通常具有半球形状并且连接到80到150伏的低压源(19)。 | ||
| 搜索关键词： | 二次电子 探测器 尤其是 扫描 电子显微镜 中的 | ||
【主权项】：
1.一种二次电子探测器，尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器，其特征在于包括：传感器(2)，其位于探测器室(3)内，一真空泵(10)与所述探测器室连接以使得所述探测器室(3)内产生真空，所述探测器室(3)接近所述传感器(2)的有效表面的壁被光阑封闭，形成对于气体的传输具有高阻抗、对于电子的传输具有低阻抗的特征，同时，所述探测器室所有其余的壁将所述探测器室(3)的内部从周围环境严格真空地隔开。
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