[发明专利]半导体制造用坚直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统有效

专利信息
申请号: 03814475.1 申请日: 2003-03-20
公开(公告)号: CN1662874A 公开(公告)日: 2005-08-31
发明(设计)人: 布赖恩·J·多尔蒂;扎马斯·R·马里亚诺;罗伯特·P·沙利文 申请(专利权)人: 布鲁克斯自动技术公司
主分类号: G06F7/00 分类号: G06F7/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 蔡胜利
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种高效自动物料搬运系统(AMHS),允许空中升降机直接从包括在该系统中的在制品(WIP)存储单元装载/卸载WIP部件。AMHS包括空中升降机输送子系统和包括多个储料箱的竖直传送带储料器。空中升降机输送子系统包括沿着形成预定路径的悬空轨行驶的空中升降机输送车。预定路径通过竖直传送带储料器,其允许空中升降机从选择的储料箱直接拾取WIP部件。包含需要的WIP部件组的选择的传送带储料箱被安置在竖直传送带储料器的顶部,位于悬空轨的正下方。空中升降机输送车沿悬空轨运动到大致位于选择的储料箱正上方的位置。然后空中升降机朝选择的储料箱下降。最后操作空中升降机以直接从储料箱拾取需要的在制品组,或将在制品组放入传送带储料箱中。
搜索关键词: 半导体 制造 用坚直 传送带 空中 升降机 组合式 自动 物料 搬运 系统
【主权项】:
1.一种自动物料搬运系统,包括:至少一个存储单元,其包括多个储料箱,每个储料箱被设计成保持至少一组物料;以及空中升降机输送子系统,其包括至少一个空中升降机,所述空中升降机被设计成从多个储料箱中所选择的一个上直接拾取至少一组物料,以便随后输送到预定位置。
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