[发明专利]光学测定方法及其装置

摘要

一种光学测定装置，包括：表面光用传感器(5)，由激光光源(2)以规定的入射角向透明测定对象物(1)的表面照射光束，使从透明测定对象物(1)的表面、背面产生的表面光、背面光通过成像光学系统(3)成像，在透过半反射镜(4)的表面光的成像位置上配置受光面；背面光用传感器(6)，被配置成使受光面位于由半反射镜(4)反射的背面光的成像位置；表面用测定数据保持部(7)，把来自表面光用传感器(5)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的表面对应的二维光学测定数据；背面用测定数据保持部(8)，把来自背面光用传感器(6)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的背面对应的二维光学测定数据；以及表面背面数据生成保持部(9)，把两光学测定数据作为输入进行表面背面判定处理，生成和保持仅与透明测定对象物(1)的表面对应的表面数据和仅与背面对应的背面数据。由此，不会增加扫描时间，可提高被检测面的异物检测精度，而且，不仅可测定表面的状态，而且可测定背面的状态。

主权项

1.一种光学测定方法，其特征在于，从斜上方以规定的角度向由支撑部件支撑的透明测定对象物的表面照射直线状激光，使来自透明测定对象物的表面的光和来自背面的光通过成像光学系统成像在分别对应的、具有直线状受光部的检测器的受光部上，根据从两检测器输出的信号进行规定的处理，选择性分配给与表面对应的信号和与背面对应的信号中的一方，分别显示与表面对应的分配信号和与背面对应的分配信号。