[发明专利]具有倾斜视角的检测系统无效
| 申请号： | 03823096.8 | 申请日： | 2003-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1685219A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 都伦·寇恩葛特;斌央米·可恩;艾麦夏·捷塔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 沿倾斜于一个表面的视角对该表面的一个区域成像的装置包含一个远焦光学中继装置(192)，其用来通过汇聚该区域沿一个朝向视角的光轴方向的光射线来形成该区域倾斜的初始影像。一倾斜校正单元(194)用于校正初始影像的倾斜，以便形成一个充分不失真的中间影像。一放大模块(198)被连接以将该中间影像聚焦到一影像检测器上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 倾斜 视角 检测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光学装置，沿倾斜于一个表面的视角对该表面的一个区域成像的装置，其特征在于其包括：远焦光学中继装置，其通过汇聚该区域沿一朝向视角的光轴方向的光射线来形成该区域倾斜的初始影像；倾斜校正单元，用来校正初始影像的倾斜以形成实质上不失真的中间影像；以及放大模块，用来把中间影像聚焦在影像检测器上。
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