[发明专利]微结构冷却器及其应用有效
| 申请号： | 03823629.X | 申请日： | 2003-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1689153A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 海因里希·迈尔;康拉德·克雷默;奥拉夫·屈茨;拉尔夫·赫贝尔;彼得·普雷希特尔;斯文·泰森;马库斯·赫恩 | 申请（专利权）人： | 埃托特克德国有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/473 | 分类号： | H01L23/473 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于一待冷却物件(4)的微结构冷却器(3)，该冷却器(3)包括一由至少两片金属薄膜(1)及一片底板(5)所构成的叠层，该底板可通过一热接触表面(6)而与物件(4)形成热热接触，金属薄膜(1)及底板(5)是以材料配合的方式相互接合，金属薄膜(1)中设有可供冷媒使用的沟道(2)，且沟道(2)的宽度在100－2000μm的范围内，其深度在25－1000μm的范围内，且其平均间距在50－1000μm的范围内，因金属薄膜(1)上的沟道(2)而产生的残余薄膜厚度在50－300μm的范围内，而底板(5)的厚度则在200－2000μm的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 冷却器 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于一待冷却物件(4)的微结构冷却器(3)，该冷却器(3)包括一由至少两片金属薄膜(1)及一片底板(5)所构成的叠层，该底板可通过一热接触表面(6)而与该物件(4)形成热接触，该金属薄膜(1)及该底板(5)相互接合，所述冷却器(3)还包括位于该金属薄膜(1)中且供冷媒使用的沟道(2)，且该沟道(2)的宽度b在100-2000μm的范围内，其深度t在25-1000μm的范围内，且其平均间距s在50-1000μm的范围内，因该金属薄膜(1)上的沟道(2)而产生的残余薄膜厚度r在50-300μm的范围内，而该底板(5)的厚度g则在200-2000μm的范围内。
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