[发明专利]用于掠入射干涉仪的干涉带图案鉴别器有效
| 申请号： | 03823744.X | 申请日： | 2003-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1692269A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | C·A·李;M·J·特罗诺洛恩;A·W·库拉维克 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过修改成可区分含两种信息的重迭干涉图案的掠入角干涉仪，有关透射平面平行试样的平直度和厚度变化信息。改变干涉仪的掠射角，可识别重迭干涉图案内独特的局部干涉带强度的调制频率。基于不同干涉图案的局部干涉带强度可按其各自的调制频率区分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 入射 干涉仪 干涉 图案 鉴别器 | ||
【主权项】：
1.一种用掠入射干涉仪测量透射平面平行板的方法，其特征在于包括步骤：使光束以不垂直掠射角从参照表面和透射板两标称平行表面二者反射，产生至少两个不同的干涉图案；把第一干涉图案重迭在第二干涉图案上，前者形成在参照表面与透射板两标称平行表面之一之间，后者形成在透射板两标称平行表面之间；将光束的不垂直掠射角改变一角度范围，各重迭干涉图案的局部干涉带强度通过至少一次循环在该角度范围偏移；测定局部干涉带强度在重迭干涉图案之一内偏移的调制频率；和估算在调制频率下变化的局部干涉带强度，从一个干涉图案中提取相位信息。
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