[其他]流过纯净气体的中间储存装置在审
| 申请号： | 101985000003312 | 申请日： | 1985-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1004372B | 公开（公告）日： | 1989-05-31 |
| 发明（设计）人： | 戈贝尔;希夫勒斯 | 申请（专利权）人： | 西门子股份有限公司 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 王忠忠 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及到联接在气体分配导管上的一流过纯净气体的中间储存装置，它具备至少一高压储存器，一低压储存器及一升压压缩机。利用这一中间储存装置不仅能明显地储存多余量的或补充不足量的纯净气体，同时也能将气体分配导管中的压力以尽可能小的误差保持其恒定。该发明规定：不论在低压储存器中的进气导管，还是高压储存器的出气导管均联接到气体分配导管中，在联接低和高压储存器的联接导管中至少装入一个升压压缩机并且在低压及高压储存器的进气及出气导管中装入由压力传感器进行调节的阀。 | ||
| 搜索关键词： | 流过 纯净 气体 中间 储存 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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