[其他]高流量多级盘形分子泵在审
| 申请号： | 101985000005304 | 申请日： | 1985-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN85105304B | 公开（公告）日： | 1988-09-14 |
| 发明（设计）人： | 储继国;孙云龙;徐礼霸 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞 |
| 地址： | 上海市邯郸*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明属于高转速机械真空泵，例如分子泵。它提出了一种多级盘形分子泵的新的串联工作模式。其螺线槽采用对数形式：Ｒ |
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| 搜索关键词： | 流量 多级 分子 | ||
【主权项】：
暂无信息
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