[其他]真空设备在审
申请号: | 101985000006797 | 申请日: | 1985-09-10 |
公开(公告)号: | CN1005642B | 公开(公告)日: | 1989-11-01 |
发明(设计)人: | 西格弗里德·舒恩瓦尔德;诺伯特·施米德;汉斯·乔治·特罗扬 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | 分类号: | ||
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 曹永来;李晓舒 |
地址: | 联邦德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一个真空设备,它有一个由电动机驱动的,并使用辅助液体工作的真空泵。真空泵(2)与一个装有储存室的、并用来把被输送的气体从辅助液体中分离出来的粗分离器(7)相连。辅助液体(33)流出储存室后经过液体冷却器(23)再重新输到真空泵(2)中,而载有残余辅助液体(33)的气体则被送到一个装在粗分离器(7)后面的细分离器(19)中。从细分离器(19)分离出来的辅助液体(33)由装在细分离器(19)上的一根返回管(27)输送。改善辅助液体从气体中分离情况的途径如下:粗分离器(7)和细分离器(19)结构上分开安装,载有残余辅助液体(33)的气体经过气体冷却器(13)被送至细分离器(19),气体冷却器(13)和液体冷却器(23)也是分开来安装的。这两个冷却器的尺寸大小,应能保证气体的冷却温度远远低于辅助液体(33)的排出温度。 | ||
搜索关键词: | 真空设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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