[发明专利]硅的湿化学处理方法及装置无效
| 申请号： | 200310101481.7 | 申请日： | 2003-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1497066A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 马克西米利安·斯塔德勒;京特·施瓦布;赫尔穆特·弗兰克 | 申请（专利权）人： | 瓦克硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体实施硅的湿化学处理的方法，其中通过将氮氧化物(NOx)通入所述蚀刻液体中，在该蚀刻液体首次用于硅的湿化学处理前将其活化。本发明还涉及一装置，该装置包括：a)第一容器(1)，借助于一含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体(4)，在该容器内对硅进行湿化学处理，b)第二容器(2)，其中已装有新鲜蚀刻液体(5)，和c)第一容器与第二容器间的连接管线(8)，经由该管线(8)将实施湿化学处理过程中在第一容器内形成的氮氧化物(NOx)输送至第二容器。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种使用含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体实施硅的湿化学处理的方法，其中通过将氮氧化物NOx通入所述蚀刻液体中，在该蚀刻液体首次用于硅的湿化学处理前将其活化。
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