[发明专利]基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法无效

专利信息
申请号: 200310107131.1 申请日: 2003-11-28
公开(公告)号: CN1546943A 公开(公告)日: 2004-11-17
发明(设计)人: 胡小唐;冯亚林;胡晓东;靳世久;傅星;郝一龙 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01B9/02;G01B9/04
代理公司: 天津市学苑有限责任专利代理事务所 代理人: 解松凡
地址: 3000*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、Mirau干涉仪、相移控制器、频闪照明驱动装置、LED阵列、MEMS结构运动激励装置组成,其特征在于:光源采用二极管阵列,且每个子光源均有独立的准直器;显微干涉采用分光路Mirau干涉显微镜并与相移控制器集成一体。所述的测试方法,其过程包括频闪与驱动信号的同步控制、干涉图像中突变区域的隔离、三维表面形貌图的重构与倾斜修正、三维表面形貌图的归一化分析、测量点的跟踪。本发明的优点在于:采用虚拟仪器的方式以便于系统的功能调整和扩展;在连续光和频闪照明方式下,采用分光路Mirau干涉显微镜和相移器件实现精度高、抗干扰能力强的三维运动特性的测试。
搜索关键词: 基于 显微 干涉 技术 微机 系统 测试 装置 方法
【主权项】:
1、一种基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置,该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、Mirau干涉仪、相移控制器、频闪照明驱动装置、驱动信号切换开关、LED阵列、MEMS结构运动激励驱动装置、CCD摄像机、图像采集卡、数据处理和控制计算机组成,其特征在于:光源为多波长光源,采用包括由白、红、黄、绿发光二极管组成的阵列,并且每个子光源均设有独立的准直器;显微干涉测量采用分光路Mirau干涉显微镜并与相移控制器集成一体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学,未经天津大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200310107131.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top