[发明专利]基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法无效
申请号: | 200310107131.1 | 申请日: | 2003-11-28 |
公开(公告)号: | CN1546943A | 公开(公告)日: | 2004-11-17 |
发明(设计)人: | 胡小唐;冯亚林;胡晓东;靳世久;傅星;郝一龙 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B9/02;G01B9/04 |
代理公司: | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人: | 解松凡 |
地址: | 3000*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、Mirau干涉仪、相移控制器、频闪照明驱动装置、LED阵列、MEMS结构运动激励装置组成,其特征在于:光源采用二极管阵列,且每个子光源均有独立的准直器;显微干涉采用分光路Mirau干涉显微镜并与相移控制器集成一体。所述的测试方法,其过程包括频闪与驱动信号的同步控制、干涉图像中突变区域的隔离、三维表面形貌图的重构与倾斜修正、三维表面形貌图的归一化分析、测量点的跟踪。本发明的优点在于:采用虚拟仪器的方式以便于系统的功能调整和扩展;在连续光和频闪照明方式下,采用分光路Mirau干涉显微镜和相移器件实现精度高、抗干扰能力强的三维运动特性的测试。 | ||
搜索关键词: | 基于 显微 干涉 技术 微机 系统 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
1、一种基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置,该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、Mirau干涉仪、相移控制器、频闪照明驱动装置、驱动信号切换开关、LED阵列、MEMS结构运动激励驱动装置、CCD摄像机、图像采集卡、数据处理和控制计算机组成,其特征在于:光源为多波长光源,采用包括由白、红、黄、绿发光二极管组成的阵列,并且每个子光源均设有独立的准直器;显微干涉测量采用分光路Mirau干涉显微镜并与相移控制器集成一体。
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