[发明专利]快速热处理系统排气压力控制方法有效
| 申请号： | 200310108147.4 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1611643A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈腾宏;卢祺;沈成刚;周利明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种快速热处理(RTP)系统的排气压力控制方法，其中，一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上，此排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线，并具有一上限感测器及一下限感测器，以检视快速热处理系统的排气是否超出规格，在本方法中：当排气值超出规格时，讯号线会将讯号送到快速热处理系统，然后系统将会显示出警报讯息，以便通知操作人员来调整排气的调整器，藉此，能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内，以利于制程中的压力控制。在将排气压力量测计添加入快速热处理排气系统中之后，人们能够控制处理室的排气，以便减少沉积于反射器上的某些物质，这将有利于制程中的压力控制，并且也可以减低PM频率。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 热处理 系统 排气 压力 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速热处理系统的排气压力控制方法，其中，一排气压力量测计被设置在快速热处理系统的主机体上，该排气压力量测计连接至快速热处理反应室排气管线，并具有一上限感测器及一下限感测器，以检视快速热处理系统的排气是否超出规格，在该方法中：当排气值超出规格时，讯号线会将讯号送到快速热处理系统，然后该系统将会显示出警报讯息，以便通知系统维护人员来调整排气系统的调整器，藉此，能够将该快速热处理反应室的排气控制在预定的范围内，以利于制程中的压力控制。
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