[发明专利]测量光学透明体的光学和物理厚度的方法无效
申请号: | 200310113599.1 | 申请日: | 2003-11-14 |
公开(公告)号: | CN1501049A | 公开(公告)日: | 2004-06-02 |
发明(设计)人: | 加斯;加撒帕拉 | 申请(专利权)人: | 美国飞泰尔有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种决定光学透明体的绝对物理厚度的方法,该方法包括如下步骤:使一束宽带的光信号在与被测参量相关联的方向上透过一个光学透明体;从所述光学透明体捕获一对反射光,其中第一束反射光是从所述光学透明体的近的表面反射而得,而第二束反射光是从所述光学透明体的远的表面反射而得;通过在确定差拍频率的光谱范畴内比较所述反射光信号,来得到所述的一对反射光的光程差,而在光谱范畴内,光程的长度是差拍频率的函数;用已知的折射率去除光程的长度来决定光学透明体的绝对物理厚度。 | ||
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【主权项】:
1.一种决定光学透明体的绝对物理厚度的方法,该方法包括如下步骤:使一束宽带的光信号在与被测参量相关联的方向上透过一个光学透明体;从所述光学透明体捕获一对反射光,其中第一束反射光是从所述光学透明体的近的表面反射而得,而第二束反射光是从所述光学透明体的远的表面反射而得;通过在确定差拍频率的光谱范畴内比较所述反射光信号,来得到所述的一对反射光的光程差,而在光谱范畴内,光程的长度是差拍频率的函数;用已知的折射率去除光程的长度来决定光学透明体的绝对物理厚度。
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